Vakanssi
Vakanssi on atomihilassa oleva aukko, josta puuttuu joko atomi tai ioni. Diffuusio perustuu atomien liikkeisiin vakanssien välityksellä.
Mikäli täydellisestä kiderakenteessa puuttuu jokin atomi tai kiteessä on ylimääräinen atomi kohdassa, joka normaalisti on tyhjä, on kyseessä pistemäinen hilavirhe. Edellistä kutsutaan vakanssiksi ja jälkimmäistä välisija-atomiksi. Pistemäisten hilavirheiden kanssa varsin samankaltainen on myös kemiallinen kidevirhe. Sillä tarkoitetaan tilannetta, jossa jokin toinen atomi korvaa hilapisteeseen virheettömässä kiteessä kuuluvan atomin. Tällöin puhutaan korvaussija-atomista.