Käyttäjän Kiltanen tallennukset
Tämä toimintosivu näyttää kaikki tallennetut tiedostot.
| Päiväys | Nimi | Pienoiskuva | Koko | Kuvaus |
|---|---|---|---|---|
| 1. marraskuuta 2009 kello 17.32 | Etsaus ioniseostus maskilla.svg (tiedosto) |  |
11 KiB | {{Tiedoston tiedot |Kuvaus=Poikkileikkaus seostetusta kuviosta ennen (ylempi) ja jälkeen (alempi) etsauksen, vasemmalla isotrooppinen märkäetsaus ja oikealla ICP-RIE-etsaus. Seostettua aluetta kuvataan keltaisella värillä. |Lähde=Oma teos |Päiväys |
| 1. marraskuuta 2009 kello 15.19 | Kryogeeninen DRIE prosessi.svg (tiedosto) |  |
16 KiB | {{Tiedoston tiedot |Kuvaus=Kryogeeninen DRIE-prosessi. Kuvassa olevat nuolet kuvaavat substraatin pintaan osuvia reagensseja (mustat ympyrät) ja pinnasta irtoavia reaktiotuotteita. Etsausmaskia kuvataan sinisellä värillä. |Lähde=Oma teos |Päiväys=9 |
| 1. marraskuuta 2009 kello 11.19 | ALD prosessikaavio.svg (tiedosto) |  |
104 KiB | {{Tiedoston tiedot |Kuvaus=Kaavio ALD-prosessista. Ensimmäisessä vaiheessa yhdiste AB kiinnittyy substraatin pintaan (ylempi kuva), seuraavassa vaiheessa reaktoriin syötetty yhdiste CD reagoi AB:n kanssa. Lopussa substraatti on päällystetty kerroksel |
| 31. lokakuuta 2009 kello 16.45 | AFM mittausjärjestelyt.svg (tiedosto) |  |
64 KiB | {{Tiedoston tiedot |Kuvaus=Kaaviokuva AFMin mittausjärjestelystä. |Lähde=Oma teos |Päiväys=22.5.2009 |Tekijä= Kari Iltanen }} Diplomityötäni varten tekemäni kaavio AFMin mittausjärjestelyistä, viimeisin muokkaus 22.5.2009. Alkuperäinen kuvate |
| 31. lokakuuta 2009 kello 16.41 | Konvoluutio AFMissa.svg (tiedosto) |  |
2 KiB | {{Tiedoston tiedot |Kuvaus=Kaavio AFMin kärjen muodon ja saatavan kuvan suhteesta. |Lähde= Oma teos |Päiväys=8.5.2009 |Tekijä=Kari Iltanen }} Diplomityötäni varten tekemän kaavio AFMin kärjen konvoluutiosta. Alkuperäinen kuvateksti: Kaavio AFMi |
| 31. lokakuuta 2009 kello 13.16 | NIL prosessikaavio.svg (tiedosto) |  |
19 KiB | Diplomityötäni varten tekemäni kaavio NIL ja SFIL prosesseista, viimeinen muokkaus 9.9.2009. Käytetty kuvateksti: Prosessikaaviot NIL:lle ja SFIL:lle. Substraattia kuvataan tumman sinisellä värillä. Vasemmalla muottia kuvataan punaisella ja resist |
