Ero sivun ”Mikrosysteemit” versioiden välillä
| [arvioimaton versio] | [arvioimaton versio] |
Poistettu sisältö Lisätty sisältö
MEMS artikkelista osia mukaan |
Ei muokkausyhteenvetoa |
||
Rivi 1:
== Määritelmä ja terminologiaa ==
'''Mikrosysteemit''' ovat [[komponentti|komponentteja]] joissa yhdistyy useita eri toiminnallisuuksia, esimerkiksi mekaanisen taipuman muuttaminen sähköiseksi signaaliksi (kuten paineanturissa tai turvatyynyn laukaisuanturissa). Mikrosysteemit tunnetaan myös amerikkalaisperäisellä 1990-luvun alussa yleistyneellä lyhenteellä MEMS (Micro Electro Mechanical Systems). Japanissa käytetään nimitystä Micromachines.
Mikrosysteemien yksittäiset rakenneosat (palkit, sillat, membraanit, peilit, kytkimet, suuttimet) ovat kooltaan [[mikrometri]]n kokoluokkaa. Itse siru voi olla muutamista sadoista mikrometreistä aina senttimetreihin asti. Kun mikrosysteemit valmistetaan [[piikiekko|piikiekolle]], jotka ovat 100 mm tai 150 mm halkaisijaltaan, valmistuu kerralla satoja tai jopa tuhansia komponentteja.
Kyse on uudenlaisten toimintojen tuottamisesta mikrokomponenteissa:
==Mikrosysteemien sovelluksia==
Tavallisimpia mikrosysteemikomponentteja ovat erilaiset [[mikroanturi]]t, kuten kapasitiivinen [[paineanturi]], pietsoresistiivinen [[kiihtyvyysanturi]] ja [[mikrobolometri]] (infrapuna-anturi). Monissa mikrosysteemeissä on mukana [[aktuaattori]], kuten mikropumpuissa, -venttiileissä ja -suuttimissa ([[mikrofluidistiikka]]), resonaattoreissa, mikrokytkimissä ja -releissä (RF-MEMS), mikropinseteissä ja elektroporaatiosiruissa (BioMEMS), energiakeräimissä jotka hyödyntävät ympäristön hukkalämpöä tai värähtelyjä (PowerMEMS), mikropeileissä ja valokytkimissä (MOEMS, {{k-en|Micro Opto Electro Mechanical Systems}}). Mikro-optiikassa valoa kuljetetaan kiekon pinnalle valmistetuissa kiinteissä rakenteissa, mutta MOEMS komponenteissa on mukana yleensä aina jokin mekaanisesti liikkuva osa, esimerkiksi interferometrissa paralleelisti liikkuva peili, videoprojektorisirussa digitaalinen kiikkuva peili, tai attenuaattorissa kiertyvä peili.
Kaupallisesti suurimpia sovelluksia ovat [[kiintolevy]]jen lukupäiden mekaniikka, [[Mustesuihkukirjoitin|mustesuihkukirjoittimien]] suuttimet, mikropeiliprojektorit, [[mikrofoni]]t, autojen rengaspaineanturit, sekä erilaiset muut autoteollisuuden anturit: [[turvatyyny]]- ja ajovakausanturit. Mikrosysteemien liikevaihto komponenttitasolla on luokkaa 5-10 miljardia, mutta niiden mahdollistamien tuotteiden liikevaihto on huomattavasti suurempi, mm. mustesuihkukirjoittimen tai videoprojektorin hinnasta mikrosysteemikomponentin osuus on usein vain luokkaa 10%.
| |||