Ero sivun ”Mikrosysteemit” versioiden välillä
| [arvioimaton versio] | [katsottu versio] |
Poistettu sisältö Lisätty sisältö
p Fixed 404 article link to correct one. |
Usm (keskustelu | muokkaukset) Kursiivia, lihavointia etc |
||
Rivi 1:
'''Mikrosysteemit''' ovat [[elektroninen komponentti|komponentteja]] joissa yhdistyy useita eri toiminnallisuuksia, esimerkiksi mekaanisen taipuman muuttaminen sähköiseksi signaaliksi (kuten paineanturissa tai turvatyynyn laukaisuanturissa). Mikrosysteemit tunnetaan myös amerikkalaisperäisellä 1990-luvun alussa yleistyneellä lyhenteellä '''MEMS''' (''Micro Electro Mechanical Systems''). Japanissa käytetään nimitystä '''Micromachines'''.
Mikrosysteemien yksittäiset rakenneosat (palkit, sillat, membraanit, peilit, kytkimet, suuttimet) ovat kooltaan [[mikrometri]]n kokoluokkaa. Itse siru voi olla muutamista sadoista mikrometreistä aina senttimetreihin asti. Kun mikrosysteemit valmistetaan [[piikiekko|piikiekolle]], jotka ovat 100 mm tai 150 mm halkaisijaltaan, valmistuu kerralla satoja tai jopa tuhansia komponentteja.
Rivi 6:
==Mikrosysteemien sovelluksia==
Tavallisimpia mikrosysteemikomponentteja ovat erilaiset [[mikroanturi]]t, kuten kapasitiivinen [[paineanturi]], pietsoresistiivinen [[kiihtyvyysanturi]] ja [[mikrobolometri]] (infrapuna-anturi). Monissa mikrosysteemeissä on mukana [[aktuaattori]], kuten mikropumpuissa, -venttiileissä ja -suuttimissa ([[mikrofluidistiikka]]), resonaattoreissa, mikrokytkimissä ja -releissä (RF-MEMS), mikropinseteissä ja elektroporaatiosiruissa (BioMEMS), energiakeräimissä jotka hyödyntävät ympäristön hukkalämpöä tai värähtelyjä (PowerMEMS), mikropeileissä ja valokytkimissä (MOEMS, {{k-en|Micro Opto Electro Mechanical Systems}}). Mikro-optiikassa valoa kuljetetaan kiekon pinnalle valmistetuissa kiinteissä rakenteissa, mutta MOEMS komponenteissa on mukana yleensä aina jokin mekaanisesti liikkuva osa, esimerkiksi interferometrissa paralleelisti liikkuva peili, videoprojektorisirussa digitaalinen kiikkuva peili, tai attenuaattorissa kiertyvä peili.
Rivi 12 ⟶ 11:
==Valmistus==
Mikrosysteemit on perinteisesti tehty [[puolijohdeteollisuus|puolijohdeteollisuuden]] menetelmiä käyttäen ([[optinen litografia]], [[etsaus (valmistustekniikka)|etsaus]], epitaksia, oksidointi, [[diffuusio]], [[ohutkalvon kasvatus]], [[CVD]], bondaus) mutta niitä valmistetaan myös [[lasi]]sta ja [[polymeeri|polymeereistä]].
Rivi 18 ⟶ 16:
==Tieteellinen tutkimus==
===Julkaisuja===
*[http://www.sciencedirect.com/science?_ob=PublicationURL&_cdi=5282&_pubType=J&_auth=y&_acct=C000049220&_version=1&_urlVersion=0&_userid=952938&md5=3ecbf3ebede62e9a0012071e2232c83b Sensors and Actuators A: Physical, Elsevier]
Rivi 58 ⟶ 55:
==Aiheesta muualla==
*[http://www.memsuniverse.com Videoita MEMS-sovelluksia]
| |||