[[Friedrich Nietzsche]], ja hänen jälkeensä muun muassa [[Martin Heidegger]], [[Michel Foucault]] ja [[Gilles Deleuze]], hylkäsi ajatuksen substanssista samalla kun ajatuksen [[subjekti (filosofia)|subjektista]]. Heidegger katsoi Descartesin tarkoittaneen substanssilla jotain, jonka ymmärrämme sellaiseksi [[entiteetti|entiteetiksi]] joka ''on'' sellaisella tavalla, ettei se tarvitse ''olemiseensa'' muita entiteettejä. Siksi ainoastaan Jumala on substanssi ''ens perfectissimus'', täydellisimpänä olevana. Heidegger osoitti, että substanssin ja subjektin käsitteiden välillä on erottamaton suhde, ja puhui tämän vuoksi ”ihmisen” ja ”ihmiskunnan” sijaan ”[[Dasein]]ista”, joka ei ole subjekti eikä substanssi.<ref>{{Verkkoviite | Tekijä=Cucen, A. Kadir | Nimeke=Heidegger's Critique of Descartes' Metaphysics | Osoite=http://www20.uludag.edu.tr/~kadir/Roma.pdf | Viitattu=21.11.2008}}</ref>
