Ero sivun ”Mikrosysteemit” versioiden välillä
| [arvioimaton versio] | [arvioimaton versio] |
Poistettu sisältö Lisätty sisältö
Ei muokkausyhteenvetoa |
Ei muokkausyhteenvetoa |
||
Rivi 3:
Mikrosysteemit ovat komponentteja joissa yhdistyy useita eri toiminnallisuuksia, esimerkiksi mekaanisen taipuman muuttaminen sähköiseksi signaaliksi (kuten paineanturissa tai turvatyynyn laukaisuanturissa). Mikrosysteemit tunnetaan myös amerikkalaisperäisellä lyhenteellä MEMS (Micro Electro Mechanical Systems).
Tavallisimpia mikrosysteemikomponentteja ovat erilaiset mikroanturit, kuten kapasitiivinen paineanturi, pietsoresistiivinen kiihtyvyysanturi ja mikrobolometri (infrapuna-anturi). Monissa mikrosysteemeissä on mukana aktuaattori, kuten mikropumpuissa, -venttiileissä ja -suuttimissa (mikrofluidistiikka), resonaattoreissa, mikrokytkimissä ja -releissä (RF-MEMS), mikropinseteissä ja elektroporaatiosiruissa (BioMEMS), energiakeräimissä jotka hyödyntävät ympäristön hukkalämpöä tai värähtelyjä (PowerMEMS), mikropeileissä ja valokytkimissä (MOEMS, Micro Opto Electro Mechanical Systems). Mikro-optiikassa valoa kuljetetaan kiekon pinnalle valmistetuissa kiinteissä rakenteissa, mutta MOEMS komponenteissa on mukana yleensä aina jokin mekaanisesti liikkuva osa, esimerkiksi interferometrissa paralleelisti liikkuva peili, videoprojektorisirussa digitaalinen kiikkuva peili, tai attenuaattorissa kiertyvä peili.
Kaupallisesti suurimpia sovelluksia ovat kovalevyjen lukupäiden mekaniikka, mustesuihkukirjoittimien suuttimet, mikropeiliprojektorit, mikrofonit, autojen rengaspaineanturit, sekä erilaiset muut autoteollisuuden anturit: turvatyyny- ja ajovakausanturit. Mikrosysteemien liikevaihto komponenttitasolla on luokkaa 5-10 miljardia, mutta niiden mahdollistamien tuotteiden liikevaihto on huomattavasti suurempi, mm. mustesuihkukirjoittimen tai videoprojektorin hinnasta mikrosysteemikomponentin osuus on usein vain luokkaa 10%.
Rivi 16:
Sensors and Actuators A: Physical(Elsevier),
[http://www.sciencedirect.com/science?_ob=PublicationURL&_cdi=5282&_pubType=J&_auth=y&_acct=C000049220&_version=1&_urlVersion=0&_userid=952938&md5=3ecbf3ebede62e9a0012071e2232c83b]
Sensors and Actuators B: Chemical (Elsevier),
[http://www.sciencedirect.com/science?_ob=PublicationURL&_tockey=%23TOC%235283%232006%23998819998%23631175%23FLA%23&_cdi=5283&_pubType=J&view=c&_auth=y&_acct=C000049220&_version=1&_urlVersion=0&_userid=952938&md5=cc9a9884f011c7bedb7ecdf2f599ef25]
Journal of Micromechanics and Microengineering (IOP),
[http://www.iop.org/EJ/journal/0960-1317/1]
Journal of MicroElectroMechanicalSystems (JMEMS) (IEEE & ASME),
[http://ieeexplore.ieee.org/xpl/RecentIssue.jsp?punumber=84]
Lab-on-
[http://www.rsc.org/publishing/journals/LC/article.asp]
Rivi 28 ⟶ 38:
Transducers,
[http://www.transducers07.org/]
MEMS,
Rivi 47 ⟶ 58:
[http://www.amazon.com/Microsystem-Technology-Wolfgang-Menz/dp/3527296344/ref=sr_1_1/002-6357679-4264069?ie=UTF8&s=books&qid=1189759323&sr=1-1]
Gerlach &
[http://www.amazon.de/Grundlagen-Mikrosystemtechnik-Gerald-Gerlach/dp/3446183957/ref=sr_1_1/302-4994115-2965664?ie=UTF8&s=books&qid=1189759477&sr=8-1]
| |||