Tiedosto:ALD prosessikaavio.svg

Alkuperäinen tiedosto ‎(SVG-tiedosto; oletustarkkuus 888 × 743 kuvapistettä; tiedostokoko 104 KiB)

Yhteenveto muokkaa

Kuvaus	Kaavio ALD-prosessista. Ensimmäisessä vaiheessa yhdiste AB kiinnittyy substraatin pintaan (ylempi kuva), seuraavassa vaiheessa reaktoriin syötetty yhdiste CD reagoi AB:n kanssa. Lopussa substraatti on päällystetty kerroksella yhdistettä AD ja reaktiotuote BC poistuu reaktorista (alempi kuva).
Lähde	Oma teos
Päiväys	10.9.2009
Tekijä(t)	Kari Iltanen

Diplomityötäni varten tekemäni kaavio ALD-prosessista, viimeisin muokkaus 10.9.2009.

Minä, tämän työn tekijänoikeuksien haltija, julkaisen työni seuraavilla lisensseillä:

	Tämä tiedosto on lisensoitu Creative Commons Nimeä-JaaSamoin 3.0 Ei sovitettu -lisenssillä. Lyhyesti: Saat käyttää teosta sillä ehdolla, että mainitset teoksen käytön yhteydessä teoksen tekijän hyvän tavan mukaisesti ja lisensoit teoksesta tekemäsi johdannaiset eli muunnellut versiot samalla lisenssillä kuin tämä. Varsinainen lisenssi.
	CC-BY-SA-3.0Nimeä-JaaSamoin 3.0 Ei sovitettutruetrue

	Tämän dokumentin kopiointi, levittäminen sekä muokkaaminen on sallittua GNU Free Documentation Licensen version 1.2 tai uudemman Free Software Foundationin julkaiseman version mukaisesti, ilman muuttumattomuuslauseketta tai kansitekstejä. Kopio lisenssistä löytyy nimellä ”GNU Free Documentation License”.
	GFDL GNU Free Documentation License http://www.gnu.org/copyleft/fdl.html

Päiväystä napsauttamalla näet, millainen tiedosto oli kyseisellä hetkellä.

	Päiväys	Pienoiskuva	Koko	Käyttäjä	Kommentti
nykyinen	1. marraskuuta 2009 kello 11.19		888 × 743 (104 KiB)	Kiltanen (keskustelu \| muokkaukset)	{{Tiedoston tiedot \|Kuvaus=Kaavio ALD-prosessista. Ensimmäisessä vaiheessa yhdiste AB kiinnittyy substraatin pintaan (ylempi kuva), seuraavassa vaiheessa reaktoriin syötetty yhdiste CD reagoi AB:n kanssa. Lopussa substraatti on päällystetty kerroksel

Et voi tallentaa uutta tiedostoa tämän tilalle.

Seuraava sivu käyttää tätä tiedostoa: